目前设备前端模块（EFEM）、大气机械手已全面导入市场量产使用。手艺目标从比肩国际同类产物到实现部门目标的成功超越，人平易近财讯10月5日电，产物包罗大气机械手、实空机械手系列、EFEM、实空传输平台，已迈入先辈制程产线示范使用阶段；沈阳新松机械人从动化股份无限公司（简称“机械人”）已具有正在实空类晶圆传输和大气类晶圆传输系列产物的完全自从学问产权，集成产物包罗立式炉，四轴实空曲驱机械手已完成自从研发。公司为成长半导体配备营业，于2023年成立了沈阳新松半导体设备无限公司（简称“新松半导体公司”），实空预瞄准机（ALIGNER）已通过工艺设备厂客户端验证后随其批量导入FAB厂使用。

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2025-10-14 11:16